窒化シリコン薄膜

2020-10-01 東京大学 ポイント 高集積化の進んだ半導体デバイスでは、熱を運ぶフォノンが散乱されて放熱が困難になるため、高性能化に向けて新しい放熱機構や材料が求められている。 光とフォノンの混合状態である表面フォノンポラリトンを用い...