極端紫外線リソグラフィー

BNL ラボにおける極端紫外線リソグラフィーの輝ける未来 (A Bright Future for Extreme UV Lithography at Brookhaven Lab)

2023-11-08 アメリカ合衆国・ブルックヘブン国立研究所(BNL)・ BNL のユーザー施設 Center for Functional Nanomaterials(CFN)が、極端紫外線(EUV)リソグラフィーによる高性能パターン作...

2024-01-12

0403電子応用