有機金属気相成長装置

2022-04-27 産業技術総合研究所 ポイント 準大気圧プラズマ源を組み込んだ有機金属気相成長装置を独自に開発 高密度窒素系活性種を原料に高品質窒化インジウムの成長を実現 赤色から近赤外域の高効率光デバイスや次世代高周波デバイスへの応用...