排ガス除害装置

デバイス製造装置のポンプ出口から排ガス処理装置に至る配管内を１０キロパスカル程度まで減圧することで爆発下限界を引き上げ、化学反応しない環境を作り、排ガスを分解する熱源として、アークプラズマを減圧状態でも安定して発生させられる最適条件を見いだした。