排ガス除害装置

デバイス製造装置向け排ガス除害装置の開発に成功 ~危険なガスを高効率・省エネに無害化~ 0107工場自動化及び産業機械

デバイス製造装置向け排ガス除害装置の開発に成功 ~危険なガスを高効率・省エネに無害化~

デバイス製造装置のポンプ出口から排ガス処理装置に至る配管内を10キロパスカル程度まで減圧することで爆発下限界を引き上げ、化学反応しない環境を作り、排ガスを分解する熱源として、アークプラズマを減圧状態でも安定して発生させられる最適条件を見いだした。
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