周波数フィルター用圧電薄膜

0404情報通信

スマートフォンの未来を支える 周波数フィルター用の圧電薄膜の電気機械結合係数の向上とメカニズムの解明

スマートフォン向け周波数フィルター用として、窒化アルミニウム圧電薄膜にイッテルビウムを添加することで、電気機械結合係数が最大約1.4倍に増加することを実験で確認。イッテルビウムをウルツ鉱型窒化アルミニウム中に置換する際に、ランダムに配置するのではなく、チェーン状の構造が形成される状態がエネルギー的に安定することを解明。
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