マイクロ空間内に均一な原子層を形成させる新技術～狭窄空間内への新たな原子層堆積手法の開発～
2023-05-12 東京大学 ポイント きわめて狭い空間（マイクロ空間）に対して均一に原子層堆積（ALD）を行う新手法を開発した。 従来困難だったレベルの狭窄空間（長さ1000mm、内径100μm のキャピラリーチューブ）に対しても均一な...
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