原子層堆積(ALD)

クールな衛星とフレキシブルエレクトロニクス(Cool satellites and flexible electronics) 0400電気電子一般

クールな衛星とフレキシブルエレクトロニクス(Cool satellites and flexible electronics)

2025-12-16 スイス連邦材料試験研究所(EMPA)スイス連邦材料試験研究所(EMPA)は、柔軟電子機器の信頼性向上を目的に、金属薄膜とポリマー基板の界面に用いる「中間層(インターライヤー)」の研究を進めている。フレキシブル電子回路で...
マイクロ空間内に均一な原子層を形成させる新技術~狭窄空間内への新たな原子層堆積手法の開発~ 1700応用理学一般

マイクロ空間内に均一な原子層を形成させる新技術~狭窄空間内への新たな原子層堆積手法の開発~

2023-05-12 東京大学ポイント きわめて狭い空間(マイクロ空間)に対して均一に原子層堆積(ALD)を行う新手法を開発した。 従来困難だったレベルの狭窄空間(長さ1000mm、内径100μm のキャピラリーチューブ)に対しても均一なA...
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