0110情報・精密機器 半導体ウエハー面内の転位分布・ひずみ分布の可視化に成功～半導体製造における検査工程の利便性向上や効率化に貢献～
2022-06-30 新エネルギー・産業技術総合開発機構,名古屋大学,Mipox株式会社NEDOの「官民による若手研究者発掘支援事業（若サポ）」で名古屋大学原田俊太准教授（未来材料・システム研究所）とMipox（株）は、半導体基板を製造する...
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