0505化学装置及び設備 専門知識と機械学習を融合した最適化手法～最適な成膜条件により生産効率を約2倍に～
2020-09-09 名古屋大学,理化学研究所,グローバルウェーハズ・ジャパン株式会社 名古屋大学未来材料・システム研究所の長田 圭一（当時大学院生）、宇治原 徹教授、理化学研究所革新知能統合研究センターの沓掛 健太朗研究員およびグローバル...
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