分光干渉方式

シリコンウエハーの厚さを高精度に測定、長さの国家標準にトレーサブルな厚さ測定用両面干渉計を開発

2018/09/04　国立研究開発法人産業技術総合研究所ポイント長さの国家標準にトレーサブルなレーザー光源と2台の光干渉計を用いて試料の厚さを測定シリコンウエハー内部の屈折率に影響されずに厚さを測定可能シリコンウエハーの高精度品質管...

2018-09-04

0110情報・精密機器