分光干渉方式

シリコンウエハーの厚さを高精度に測定、長さの国家標準にトレーサブルな厚さ測定用両面干渉計を開発 0110情報・精密機器

シリコンウエハーの厚さを高精度に測定、長さの国家標準にトレーサブルな厚さ測定用両面干渉計を開発

2018/09/04 国立研究開発法人 産業技術総合研究所 ポイント 長さの国家標準にトレーサブルなレーザー光源と2台の光干渉計を用いて試料の厚さを測定 シリコンウエハー内部の屈折率に影響されずに厚さを測定可能 シリコンウエハーの高精度品質...
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