分光干渉方式

2018/09/04　国立研究開発法人 産業技術総合研究所 ポイント 長さの国家標準にトレーサブルなレーザー光源と2台の光干渉計を用いて試料の厚さを測定 シリコンウエハー内部の屈折率に影響されずに厚さを測定可能 シリコンウエハーの高精度品質...