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薄膜トランジスタを部分的なレーザー処理で高速化する技術を開発~4K8K大型テレビの製造コストを大幅に低減 0400電気電子一般

薄膜トランジスタを部分的なレーザー処理で高速化する技術を開発~4K8K大型テレビの製造コストを大幅に低減

a-Si膜のTFT素子のチャネル領域のみをレーザーアニール処理して、局所的に再結晶化することでTFT素子を高速化する技術を基に、レーザーアニール処理されたTFTの性能をリアルタイムに測定する装置の開発など、量産の課題を解決し実証した。
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