ブイ・テクノロジー

ａ－Ｓｉ膜のＴＦＴ素子のチャネル領域のみをレーザーアニール処理して、局所的に再結晶化することでＴＦＴ素子を高速化する技術を基に、レーザーアニール処理されたＴＦＴの性能をリアルタイムに測定する装置の開発など、量産の課題を解決し実証した。