フェムト秒レーザ(fs-LIPSS)

レーザで描くフォノニックナノ構造による半導体サーマルマネジメント～ナノ構造を高速・低環境負荷で作製、実用化の加速に期待～

2025-12-04 東京科学大学東京科学大学と東京大学の研究チームは、半導体の熱輸送を制御するフォノニックナノ構造を、従来より1,000倍以上高速に作製できる手法を開発した。フェムト秒レーザ誘起周期表面構造（fs-LIPSS）をシリコン薄...

2025-12-05

0400電気電子一般