0403電子応用 世界初、垂直ブリッジマン法による6インチβ型酸化ガリウム単結晶の作製に成功~β型酸化ガリウム基板の大口径化・高品質化に貢献~
2023-12-25 産業技術総合研究所(株)ノベルクリスタルテクノロジーは、垂直ブリッジマン(VB)法による6インチβ型酸化ガリウム(β-Ga2O3)単結晶の作製に世界で初めて成功しました。本成果により、β-Ga2O3基板の大口径化・高品...
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0505化学装置及び設備
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