トリハライド気相成長法(THVPE法)

窒化ガリウムの低コスト結晶製造装置を開発 ~パワーデバイス開発への突破口に~ 0403電子応用

窒化ガリウムの低コスト結晶製造装置を開発 ~パワーデバイス開発への突破口に~

HVPE法を発展させ、三塩化ガリウム-アンモニア反応系を用いたトリハライド気相成長法(THVPE法)により、高速、高品質、連続成長を実現する窒化ガリウム(GaN)結晶製造装置を開発した。
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