トリハライド気相成長法（ＴＨＶＰＥ法）

ＨＶＰＥ法を発展させ、三塩化ガリウム－アンモニア反応系を用いたトリハライド気相成長法（ＴＨＶＰＥ法）により、高速、高品質、連続成長を実現する窒化ガリウム（ＧａＮ）結晶製造装置を開発した。