スパッタ法

2026-03-17 大阪公立大学大阪公立大学らは、非鉛圧電材料ビスマス鉄酸化物（BFO）の性能向上を半導体基板上で実証した。従来困難とされたシリコン基板上での性能向上に対し、圧縮ではなく引張ひずみを活用する発想により構造相転移を誘起し、圧...