シリコンIGBT

2020-12-06 東京大学○添付資料：シリコンウェハに試作された両面ゲートIGBTチップ。後ろの鏡には、裏面のパターンが確認できる。○発表者：更屋 拓哉（東京大学 生産技術研究所 助手）平本 俊郎（東京大学 生産技術研究所 教授）○発表...