シリコン基板レーザー加工

2023-04-11 理化学研究所 理化学研究所（理研）光量子工学研究センター 先端レーザー加工研究チームの杉岡 幸次 チームリーダー、小幡 孝太郎 研究員らの共同研究チームは、フェムト秒レーザー加工において、ギガヘルツ（GHz、1GHzは...