走査型X線顕微鏡

X線ナノプローブスキャナーの発明~試料は動かさずに、X線を精密にスキャンするナノ顕微法~ 1700応用理学一般

X線ナノプローブスキャナーの発明~試料は動かさずに、X線を精密にスキャンするナノ顕微法~

大型放射光施設「SPring-8」において、「走査型X線顕微鏡」用の新しい高精度スキャン技術「X線ナノプローブスキャナー」を開発した。
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