デュアルコム分光法

デュアルコム分光を用いた平板光学材料の超高精度な屈折率・厚さ計測手法を開発 1700応用理学一般

デュアルコム分光を用いた平板光学材料の超高精度な屈折率・厚さ計測手法を開発

光の位相変化量を正確に直接計測できるデュアルコム分光法を用いて、平板シリコン材料の厚さと屈折率を、非接触で、多波長に対して高精度に同時計測する手法を開発しました。材料の屈折率を、平板形状のまま、究極的な精度で計測できる画期的なものです。
デュアルコム分光法を利用した磁気光学効果測定装置を開発 0110情報・精密機器

デュアルコム分光法を利用した磁気光学効果測定装置を開発

デュアルコム分光法を利用することにより、磁気光学効果測定装置の性能を従来に比べて大幅に向上させることに成功した。
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