0403電子応用 高低差がナノスケールの極微小な欠陥をワンショットで3D形状に可視化する光学検査技術を開発～独自の光学機器とアルゴリズムで、半導体製造における極微小な欠陥を1枚の撮像画像から瞬時に識別～
2025-02-26 株式会社東芝,東芝情報システム株式会社概要株式会社東芝（以下、東芝）と東芝情報システム株式会社（以下、東芝情報システム）は、生産現場における外観検査において、製品の表面の極微小なナノスケール(*1)の高低差を持つ欠陥（...
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