0403電子応用 真空圧検出用MEMSセンサーを開発（Researchers Develop Novel Dual-Mode MEMS Sensor for Wide-Range Vacuum Pressure Detection）
2025-07-13 中国科学院（CAS）中国科学院空天信息研究院の陳徳勇・王軍博両教授らの研究チームは、広範囲な真空圧力測定を高精度で行える新型MEMSセンサを開発した。従来のPirani計は広範囲測定可能だが精度に欠け、CDGは高精度だ...