Materials Today

高周波通信に貢献する圧電薄膜の作製に成功～窒化アルミニウム系薄膜で世界最高の圧電定数35.5 pC/Nを実現～

2025-01-21 産業技術総合研究所ポイントルテチウム（Lu）を下地層として導入することにより、高濃度にスカンジウム（Sc）を添加したScAlNの結晶性向上に成功 Sc固溶量を向上させ、窒化アルミニウム系薄膜で世界最高の圧電定数を達成...

2025-01-21

0403電子応用