GaN表面酸化ダイナミックス

2022-04-11 物質・材料研究機構 GaN各表面に種々の酸化ガスを照射しながらの光電子分光測定と理論計算の両面からGaN表面酸化ダイナミックスを検討した。GaN 縦型MOSパワーデバイスのチャネルとなるm面で強く酸化されること、アルミ...