MEMS振動子

窒化ガリウムでMEMS振動子を開発 ~5G通信向けの高集積発振器に期待~ 0403電子応用

窒化ガリウムでMEMS振動子を開発 ~5G通信向けの高集積発振器に期待~

2020-12-14 科学技術振興機構ポイント 第5世代移動通信システム(5G)に求められる高精度な同期を実現する高性能な周波数基準発振器として、微小電気機械システム(MEMS)発振器が期待されている。 シリコン系MEMS振動子は高温下で品...
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