高解像度X線イメージング検出器

200ナノメートルの構造を解像できる高解像度X線イメージング検出器の開発 0110情報・精密機器

200ナノメートルの構造を解像できる高解像度X線イメージング検出器の開発

接合層の無い透明な5µm厚の薄膜シンチレーターの開発に成功し、X線撮像の理論限界に近い200nmの解像力を実現した。超大規模集積回路デバイス内部の300nm幅配線の撮像に世界で初めて成功した。
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