高精度平面形状測定装置

直径600 mmまでの平面基板をナノメートルレベルの絶対精度で凹凸を測定できる形状測定装置の開発に世界で初めて成功した。これは、関東平野の広さに対して10円玉の厚みよりも小さな凹凸に相当する。