高精度平面形状測定装置

大口径で高精度な平面形状測定装置の開発 0107工場自動化及び産業機械

大口径で高精度な平面形状測定装置の開発

直径600 mmまでの平面基板をナノメートルレベルの絶対精度で凹凸を測定できる形状測定装置の開発に世界で初めて成功した。これは、関東平野の広さに対して10円玉の厚みよりも小さな凹凸に相当する。
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