酸化膜境界部分の欠陥

2020-09-08 京都大学 　木本恒暢 工学研究科教授、立木馨大 同博士課程学生らの研究グループは、省エネの切り札と言われるSiC（シリコンカーバイド）半導体で20年間、問題になっていた欠陥（半導体の不完全性）を環境に優しい手法で大幅に...