酸化シリコン保護膜

シリコンナノ結晶により導電性を向上させた酸化シリコン保護膜を新たに開発しました。シリコン系太陽電池の長期信頼性向上や、異種材料を積層した高性能な次世代シリコン系太陽電池の開発などの貢献に期待できます。