透明材料加工

レーザー加工を従来比100万倍高速化~半導体分野におけるガラスの微細加工に革新~ 0110情報・精密機器

レーザー加工を従来比100万倍高速化~半導体分野におけるガラスの微細加工に革新~

2025-06-12 東京大学東京大学大学院工学系研究科の伊藤佑介講師らとAGCは、ガラスなど透明素材を従来の100万倍高速で超精密に加工する手法、「ベッセルTSL加工法」を開発しました。レーザーの時間波形(鋭いピコ秒パルス+低強度マイクロ...
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