貫通転位

非破壊で次世代パワーデバイス材料の結晶欠陥を検出できる技術を開発 0403電子応用

非破壊で次世代パワーデバイス材料の結晶欠陥を検出できる技術を開発

ラマンマッピング像から窒化ガリウム(GaN)半導体結晶の欠陥を検出する技術を開発した。
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