薄膜作製プロセス

外部データなしで試料作製回数を大幅に低減、材料開発コスト削減に期待2020-10-21 物質・材料研究機構,東京大学概要 NIMSと東京大学の研究グループは、材料開発に欠かせない薄膜作製プロセスに機械学習を応用することで、高品位な試料を作製...