薄膜作製プロセス

機械学習により薄膜作製プロセスの高速化を実現 0505化学装置及び設備

機械学習により薄膜作製プロセスの高速化を実現

外部データなしで試料作製回数を大幅に低減、材料開発コスト削減に期待 2020-10-21 物質・材料研究機構,東京大学 概要 NIMSと東京大学の研究グループは、材料開発に欠かせない薄膜作製プロセスに機械学習を応用することで、高品位な試料を...
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