自由曲面光学素子

世界最高レベルの精度で球の直径測定を実現～自由曲面レンズの形状測定の精度を１桁向上～

2024-12-16 産業技術総合研究所ポイント表面粗さが1ナノメートル以下のシリコン製ブロックゲージを基準とした球の直径の校正方法を提案不確かさ（測定精度）15 nmで球の直径を測定できる三次元測定機（µ-CMM）を開発先進運転支援...

2024-12-16

0110情報・精密機器