窒化ガリウム (GaN)

窒化ガリウム (GaN) に注入した微量元素の分布と電気的状態をナノスケールで可視化 0403電子応用

窒化ガリウム (GaN) に注入した微量元素の分布と電気的状態をナノスケールで可視化

窒化ガリウム (GaN) に注入した微量なマグネシウム (Mg) の分布や電気的状態を、ナノスケールで可視化することに世界で初めて成功した。Mgイオン注入によりGaNがp型半導体に変化するメカニズムの一端が明らかに。
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