0400電気電子一般 高い強誘電性を有する窒化物強誘電体の薄膜化に成功～低消費電力の不揮発性メモリへの応用に期待～
2020-09-19 産業技術総合研究所要点 高い強誘電性を有する窒化アルミニウムスカンジウムで、これまでよりさらに強誘電性が高い膜の作製に成功。 10万分の1ミリメートル以下の薄い窒化アルミニウムスカンジウム薄膜でも強誘電性を示すことを世...
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