積層キャパシタ30nm

新規窒化物強誘電体薄膜を用いた積層キャパシタの大幅なスケールダウンに成功～ロジック混載型次世代強誘電体メモリの実用化を加速～

2025-12-25 東京科学大学東京科学大学（Science Tokyo）とキヤノンアネルバの研究グループは、窒化物強誘電体であるスカンジウム置換アルミニウム窒化物（(Al,Sc)N）薄膜を用いたPt/(Al,Sc)N/Pt積層キャパシタ...

2025-12-25

0402電気応用