異種チャネル相補型電界効果トランジスタhCFET

積層型のSi/Ge異種チャネル相補型電界効果トランジスタによる大幅な集積化向上2020-12-08 産業技術総合研究所ポイント 日本-台湾半導体研究開発拠点の国際連携により2nm世代向けのSi/Ge異種チャネル集積プラットフォームを構築 S...