異種チャネル相補型電界効果トランジスタhCFET

積層型のSi/Ge異種チャネル相補型電界効果トランジスタによる大幅な集積化向上 2020-12-08 産業技術総合研究所 ポイント 日本-台湾半導体研究開発拠点の国際連携により2nm世代向けのSi/Ge異種チャネル集積プラットフォームを構築...