準大気圧プラズマ源

窒化物半導体薄膜結晶を作製するための新手法を開発～窒素プラズマを供給して世界最高品質を実現～

2022-04-27 産業技術総合研究所ポイント準大気圧プラズマ源を組み込んだ有機金属気相成長装置を独自に開発高密度窒素系活性種を原料に高品質窒化インジウムの成長を実現赤色から近赤外域の高効率光デバイスや次世代高周波デバイスへの応用...

2022-04-27

0505化学装置及び設備