測定デッドゾーン

MEMS加速度計の精度向上に向けた新たな設計手法（New Study Reveals Dual-Mode Design Boosts MEMS Accelerometer Accuracy）

2025-11-11 中国科学院（CAS）中国科学院航空情報研究院の鄒旭東教授らは、MEMS共振加速度計の主要課題である温度ドリフトと測定デッドゾーンを同時に解決するため、2本の差動ビームの共振周波数を意図的に分離するデュアルモード動作方式...

2025-11-18

0110情報・精密機器