渦レーザービーム

深紫外レーザー技術のブレークスルー（Breakthrough in Deep Ultraviolet Laser Technology）

2025-03-24 中国科学院（CAS）ChatGPT:中国科学院の研究者らは、193nmの深紫外（DUV）コヒーレント光を生成する小型固体レーザーシステムを開発しました。これは半導体リソグラフィーに重要な波長で、Yb:YAG結晶増幅器を...

2025-03-26

0400電気電子一般