欠陥制御

2026-03-12 東北大学東北大学大学院工学研究科の研究チームは、クロム窒化物（CrN）薄膜の伝導型をn型からp型へ制御する新手法を開発した。スパッタリング装置内の残留酸素を不純物ではなく欠陥制御因子として利用し、窒素ガス流量を調整する...