極端紫外線フェムト秒レーザー

極端紫外線フェムト秒レーザーを用いて熱影響の極めて少ない合成石英を加工を実現しし、加工特性として重要な有効吸収長や損傷閾値を決定するとともに加工モルフォロジーを明らかにした。