成膜

低コスト成膜技術で困難だったアルミニウム系材料の太陽電池導入を可能に 2020-10-15 産業技術総合研究所 ポイント 安価な原料を用いた成膜法では困難だったアルミニウム系材料を高品質に成膜できる装置を開発 今回開発した手法で成膜したアル...