1700応用理学一般 デュアルコム分光を用いた平板光学材料の超高精度な屈折率・厚さ計測手法を開発
光の位相変化量を正確に直接計測できるデュアルコム分光法を用いて、平板シリコン材料の厚さと屈折率を、非接触で、多波長に対して高精度に同時計測する手法を開発しました。材料の屈折率を、平板形状のまま、究極的な精度で計測できる画期的なものです。
1700応用理学一般
1701物理及び化学
1700応用理学一般
1902環境測定
1604情報ネットワーク
0303宇宙環境利用
0505化学装置及び設備
1401漁業及び増養殖
1603情報システム・データ工学
1600情報工学一般
0601紡糸、加工糸の方法及び設備
1702地球物理及び地球化学