応力センシング

MEMS一体型の単結晶ダイヤモンド量子センサー実現 ―振動中の曲げ応力を直接検出―

2026-09-03 東北大学本研究は、単結晶ダイヤモンド（SCD）製MEMSカンチレバーに埋め込んだNVセンターを、振動による曲げ応力を直接測定する量子センサーとして利用する技術を実証したものです。カンチレバー内部の引張・圧縮応力に応じて...

2026-09-03

0110情報・精密機器