干渉リソグラフィ

2025-03-23 清華大学清華大学深圳国際大学院の李興輝研究グループは、干渉リソグラフィにおける新たな露光ステッチング手法を開発しました。参照格子を用いたグローバルアライメントにより、x・y方向のアライメント誤差をリアルタイム補正し、露...