大阪公立大学工学研究科

半導体基板上で非鉛圧電体の性能向上を実証 ~汎用成膜法で多数の条件を同時に評価し実現~ 0403電子応用

半導体基板上で非鉛圧電体の性能向上を実証 ~汎用成膜法で多数の条件を同時に評価し実現~

2026-03-17 大阪公立大学大阪公立大学らは、非鉛圧電材料ビスマス鉄酸化物(BFO)の性能向上を半導体基板上で実証した。従来困難とされたシリコン基板上での性能向上に対し、圧縮ではなく引張ひずみを活用する発想により構造相転移を誘起し、圧...
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