圧電MEMSデバイス

OKIとKRYSTAL、超音波センサーの感度を20倍にする圧電単結晶薄膜接合技術を確立

単結晶薄膜を接合したウエハーによる圧電MEMSデバイスの試作に成功 2022-08-17 沖電気工業株式会社,KRYSTAL株式会社今回試作した圧電MEMS超音波センサーアレイの顕微鏡写真沖電気工業株式会社（本社：東京都港区、以下OK...

2022-08-17

0403電子応用