圧電単結晶薄膜接合

単結晶薄膜を接合したウエハーによる圧電MEMSデバイスの試作に成功 2022-08-17 沖電気工業株式会社,KRYSTAL株式会社 今回試作した圧電MEMS超音波 センサーアレイの顕微鏡写真 沖電気工業株式会社（本社：東京都港区、以下OK...