原子層堆積法

2023-06-09 東京大学○発表のポイント：◆ナノシート状の酸化物半導体を用いて高性能・高信頼性なトランジスタを開発した。◆原子層堆積法により極めて薄い酸化物半導体の成膜方法を開発しデバイス集積した。◆半導体の高集積化とそれによる高機能...