単結晶ダイヤモンドMEMSセンサチップ

0403電子応用

超高品質因子を持つダイヤモンドカンチレバーとそのセンサチップの開発に成功

高信頼性・超高感度なダイヤモンド製マイクロマシンセンサの実現に向けて前進 2018/10/30  物質・材料研究機構 NIMSは、室温で世界最高レベルの高品質因子 (Q値) を持つダイヤモンドカンチレバーおよび世界初の電気信号による駆動と、...
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