半導体製造装置

最先端構造トランジスタを試作可能な共用プロセスを独自開発～300 mmウエハーの共用パイロットラインで新規装置・材料の技術検証が可能に～

2025-11-05 産業技術総合研究所Web要約の発言：産業技術総合研究所は、NEDO支援のもと東京エレクトロン、SCREENセミコンダクター、キヤノンと共同で、最先端ロジック半導体向けゲートオールアラウンド（GAA）構造トランジスタを...

2025-11-06

0107工場自動化及び産業機械